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Informations

  • Plateau
    MICROSCOPIE@ILMTech
  • Nom
    MEB FEI NANOSEM450
  • Responsable
    NICHOLAS BLANCHARD
  • Téléphone
    04 72 43 28 31
  • Fabrication
    COMMERCIALE

Accès

  • Responsable machine
    oui
  • Sous la supervision de nos experts
    oui
  • En autonomie après formation
    oui
  • En autonomie
    non

Ouverture

Options Spécifiques

Le MEB FEI NanoSEM a une grande chambre sous vide qui convient à des micro/nano-manipulations in-situ.
L’instrument est équipé avec plusieurs détecteurs (SE, BSE et pression variable), un plasma cleaner, des injecteurs de gaz pour faire des nano-soudures (Pt et C) et une plateforme de micro/nanomanipulations et caractérisation électrique locale (4 probe station) du fabricant Imina.

Compétences

Développement instrumental, nano-caractérisation, nano-manipulation

Localisation

  • Site LaDoua
  • Batiment Lippmann
  • Etage -1
  • Salle 09.026a

Mots-clés

FEG-SEM VPSEM in-situ micro/nanomanipulation
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