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REACTOR FOR MANUFACTURING NANOSTRUCTURES USING CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

Brevet

Date de 1er dépôt : 2016-06-15

N° de brevet : FR3052766 (fiche sur l’espace européen des brevets)

Titulaire(s) : ECOLE POLYTECHNIQUE; CNRS; UCBL; THALES

Inventeur(s) : MAZELLIER, JEAN-PAUL; LEGAGNEUX, PIERRE; GANGLOFF, LAURENT; COSTEL-SORIN, COJOCARU; PURCELL, STEPHEN

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